目的
より高いアスペクト比の金属柱を含んだピラーアレー構造体を作製できるピラーアレー構造体の製造方法を提供する。
効果
従来よりも高いアスペクト比の金属柱を含み、かつ金属柱の高さのばらつきの少ないピラーアレー構造体が得られる。
技術概要
アルミニウム基板の表面を陽極酸化させてポーラスアルミナ層を形成する工程と、
前記ポーラスアルミナ層の表面にレジストパターンを形成する工程と、
湿式エッチングを行って前記レジストパターンに覆われていない部分のポーラスアルミナ層を選択的に溶解除去して開口パターンを形成する工程と、
前記開口パターンの底に露出したアルミニウム基板に対して置換メッキを行う工程と、
前記置換メッキの後に電解メッキを行うことにより、前記開口パターン内を埋める金属柱と、前記ポーラスアルミナ層の上方を覆って前記金属柱に繋がったオーバーフロー層と、を形成する工程と、
前記アルミニウム基板及びポーラスアルミナ層を除去する工程と、
を有することを特徴とするピラーアレー構造体の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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