目的
活性化された反応ガスを目的イオンまたは干渉イオンと反応させ、目的イオンを干渉イオンから分離して、目的イオンの正確な分析ができる質量分析方法と質量分析装置を提供する。
効果
質量分析法において、質量電荷比が干渉イオンと同程度の目的イオンを、干渉イオンから高精度で分離できる。
技術概要
目的イオンと干渉イオンが導入される反応セルと、
前記反応セルに接続されたオゾン発生部と、
前記反応セルで前記目的イオンがオゾンと反応して生じた目的イオン生成物が、質量電荷比に応じて、前記干渉イオンから分離される質量分離部と、
前記質量分離部で分離された前記目的イオン生成物の信号強度を計測する計測部と、
を有する質量分析装置。