目的
平面や曲面等の面はもちろん、超微細孔の内面のように狭い空間を形成する面であっても磁気研磨法によって研磨できるようにする。
効果
目視が困難で作業者の手や研削工具が入らないような位置にある面の研磨加工が可能となる。
ドリル等の穿孔工具によって形成された孔の縁に生じるバリはもちろん、溶接後のビードを除去することも可能である。このため、航空宇宙関連部品、医療機器部品、自動車部品、半導体部品等の精密部品の研磨を行うことが可能となる。
研磨後の面精度を改善、マイクロメートルオーダはもちろん、ナノメートルオーダの精度で表面の仕上げ加工を行うことができる。
従来の磁気研磨法に比べて砥粒21の残留量を目視では確認できない程、飛躍的に低減できる。
技術概要
磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極と、
被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極と、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、
を備える磁気研磨装置。