目的
並設デュアルピン構造のスピン注入磁化反転素子からなる光変調素子について、複数の磁化固定層を互いに異なる磁化方向に固定することが容易で、また、エラー検出が容易となる光変調素子の製造方法を提供すること。
効果
複数の磁化固定層を互いに異なる磁化方向に固定したり、書込みエラーを検出することの容易な並設デュアルピン構造のスピン注入磁化反転素子を製造することができる。そして、本発明に係る空間光変調器によれば、前記のスピン注入磁化反転素子を光変調素子として、画素毎に磁化自由層の磁化方向を検出することが容易となる。
技術概要
本願発明者らは、半導体装置製造の分野において、微細加工のために設けられるエッチングストッパ膜に着目した。エッチングストッパ膜によれば、その上に積層した膜のみが除去されるので、容易にエッチング量を制御することができる。そこで、本願発明者らは、光変調素子における磁化固定層同士を絶縁する絶縁層を、エッチングストッパ膜とする第１の膜に第２の膜を積層した２層構造とすることで、絶縁層のエッチング量を緻密に制御することに想到した。
基本情報
開放特許情報
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