目的
低い駆動電圧でも反射面の変形量を大きくすることができる静電駆動可変ミラーを提供。
効果
本発明によれば、低い駆動電圧でも反射面の変形量を大きくすることができる。
技術概要
反射面と前記反射面とは反対側の裏面とを有するミラーと、
前記ミラーの前記裏面との間に間隔を設けて前記裏面に対向し、前記裏面に対向する電極を有する可動部と、
前記可動部を、前記ミラーに対して接離する方向に移動可能に保持する固定部と、
前記ミラーと前記可動部との間に配置され、前記ミラーと前記可動部との少なくとも一方に固定され、前記ミラーと前記可動部の間隔を保つ接続部と、
を備えたことを特徴とする、静電駆動可変ミラー。
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