適用製品
欠陥を検査する方法および欠陥検査装置、ならびに光源装置
目的
欠陥の向きの依存性を解消する検査が可能な欠陥を検出する方法および欠陥検査装置を提供することである。また、そのために適した光源装置を提供すること。
効果
被検査体に存在する欠陥の向きに依存せず、優れた検査精度で欠陥を検出することができる。また、本発明の光源装置は、本発明の欠陥検査に適した光源装置であり、被検査体に対して、様々な入射角度から強度が高い光を効率よく照射することができる。
技術概要
被検査体内に透過し得る波長の光を前記被検査体に照射しその散乱光を検出することにより被検査体の欠陥を検査する方法であって、
前記被検査体に、前記被検査体の検査位置に集光手段により集光した光を照射し、それにより生じた散乱光の強度を散乱光検出手段により検出する散乱光の強度を求める工程と、
前記散乱光の強度を求める工程で求められた散乱光の強度を所定の閾値と対比することにより欠陥の検出を行う工程とを有することを特徴とする欠陥を検査する方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
