目的
深紫外光を放射する半導体発光素子を備える、信頼性の高い発光モジュールを提供する。
効果
本発明の発光モジュールによれば、深紫外光を放射する半導体発光素子を備える、信頼性の高い発光モジュールを提供することができる。
技術概要
発光モジュール1は、深紫外光18を放射する半導体発光素子10と、半導体発光素子10を封止する液体50と、半導体発光素子10と液体50とを収容するパッケージ(30、40)とを備える。液体50は、深紫外光18に対して透明である。パッケージ(30、40)は、深紫外光18に対して透明な透明部材40を有する。