適用製品
裏面照射型撮像素子、それを備えた駆動装置及び撮像装置並びに裏面照射型撮像素子の駆動方法
目的
従来のものよりも感度を向上させることができる裏面照射型撮像素子、それを備えた駆動装置及び撮像装置並びに裏面照射型撮像素子の駆動方法を提供する。
効果
従来のものよりも感度を向上させることができるという効果を有し、高速度撮影に使用される裏面照射型撮像素子、それを備えた駆動装置及び撮像装置並びに裏面照射型撮像素子の駆動方法として有用である。
技術概要
半導体基板の1つの面側に二次元アレイ状に配列形成された複数の画素部を有し、前記半導体基板の他の面側から被写体光を入射する裏面照射型撮像素子であって、
第1の直流電圧が印加され、前記他の面側に設けられた裏面電極と、
前記第1の直流電圧よりも高い第2の直流電圧が印加され、前記被写体光を光電変換して生成した信号電荷を収集する信号電荷収集部と、
第1のクロックが印加され、前記信号電荷収集部が収集した前記信号電荷を順次出力する信号電荷出力部と、
互いに位相が異なる第2及び第3のクロックがそれぞれ印加され、前記信号電荷出力部が出力する信号電荷を順次蓄積して出力側に転送する第1及び第2の信号電荷蓄積転送部と、
を備える
ことを特徴とする裏面照射型撮像素子。