適用製品
表面検査装置および表面検査方法、表面検査プログラム並びに記録媒体
目的
球体も含む自由曲面を有する被検査体の検査に適し、中心等に生じやすい暗点部が発生しない均質照射が可能な表面検査装置および方法を提供する。
球体の表面の反射・散乱光の観察像のみでは判断しにくいような欠陥を検出することができる表面検査装置および方法を提供する。
効果
本発明の表面検査装置および表面検査方法は球体も含む自由曲面を有する被検査体の検査に適し、これによって被検査体の中心等に生じやすい暗点部が発生しない均質照射を行った撮像が可能となる。
技術概要
被検査体を内包することができ開口部を有する中空状の拡散部と、
前記拡散部の外から前記拡散部に向けて光を照射する第一の照明部と、
前記被検査体から前記開口部の開口方向に散乱される光の光軸と傾斜する角度で設けられたビームスプリッタと、
前記被検査体から前記開口方向に散乱されビームスプリッタに入射した光が前記ビームスプリッタにより反射する方向に設けられた拡散板と、
前記被検査体から前記開口方向に散乱され前記ビームスプリッタを透過した光を検出する撮像部とを有する表面検査装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
