適用製品
カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びにカンチレバー構造体の製造方法
目的
カンチレバー部材が新規で、シンプルな構造を有し大面積化に適するカンチレバー構造体、及び高解像度及び高精度で大面積化が可能なセンサ、並びに、材料の浪費及び環境負荷を軽減できるカンチレバー構造体の製造方法を提供する。
効果
カンチレバー部の梁方向を一方向又は複数方向に揃えて、かつ、２つの互いに絶縁された電極の上に複数のカンチレバー構造体を配置して、大面積化することができる。複数のカンチレバー構造体をマトリクス化することにより、高解像化、高精度のセンサマトリクスが得られる。
カンチレバー部の梁方向を複数方向に揃えて、複数のカンチレバー構造体を配置した場合は、検出対象が、異方性の圧力や複数方向の圧力であっても、複数の軸方向の検出を行うことができるので、センシング機能の精度の向上、異方性の方向の検出、及びマップ化が可能である。
技術概要
カンチレバー構造体は、第１の電極と、前記第１の電極と一部が積層され、絶縁層を介して絶縁される第２の電極と、接着層兼導電性支柱層と、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部とを備え、絶縁層に設けたスルーホールを貫通する接着層兼導電性支柱層により、カンチレバー部は、一部が第１の電極に導電接続され、一部が第２の電極から浮遊した状態である。カンチレバー構造体の第１の電極と第２の電極が、絶縁層を介して交差するマトリクス構造とし、カンチレバー部を複数の交差する領域に配置することができるので、大面積化が可能である。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
