目的
ＳＤＰを利用して、測定試料に対し、放射方向あるいは直径方向など、第１の方向で表面の局部傾斜角度を計測するとともに、これらに交差する方向、あるいは円周方向など、第２の方向で表面の局部傾斜角度を計測し、両計測結果をベクトル情報として接続することにより、高精度な３Ｄトポグラフィ測定を実現する。
効果
第１の二次元形状計測機構により得られた第１の二次元形状と、第２の二次元形状計測機構により得られた第２の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、両者のベクトル成分が特定され、測定対象物の三次元形状を正確に計測することが可能となる。
技術概要
測定対象物の特定の複数位置で、オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し第１の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第１の方向の二次元形状を複数位置で計測する第１の二次元形状計測機構と、
前記オートコリメータを前記測定対象物の特定位置で、前記オートコリメータと前記測定対象物の少なくとも一方を他方に対し、前記第１の方向と交差する第２の方向に走査させ、前記測定対象物の表面における前記第２の方向の二次元形状を計測する第２の二次元形状計測機構とを備え、
前記第１の二次元形状計測機構が計測した前記第１の方向の二次元形状と、前記第２の二次元形状計測機構が計測した前記第２の方向の二次元形状とを、両者の交差点で連結することにより、前記測定対象物の三次元形状を得ることを特徴とする三次元形状計測システム。
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