目的
高い変形計測精度と広視野、または高精度と動的計測を同時に達成する。
効果
従前の顕微鏡、CCD、デジタル、オーバーラップモアレ法とモアレ干渉法に使用される縞中央化法と比較して、位相解析により顕著に測定精度が向上する。ひずみ感度は、理論的には10↑（-6）に達する。また本発明によれば、各種顕微鏡の走査歪みに起因したひずみ測定誤差を除去できる。
技術概要
試料の表面形状または面内・面外変位・ひずみをそのモアレ縞(規則的に配列され輝度情報を持ちうる画素(ピクセル)群に撮像された画像情報)を利用して高精度かつ広視野で計測する三次元形状、変位・ひずみ分布測定方法であって、
前記試料の表面形状とその基準面または変形前後(以下単に変形前後とする)のピッチ寸法またはそのピッチ寸法と高さ係数(その規則格子の位相と高さの変換係数)が知られた規則格子から生成されたモアレ縞から当該モアレ縞の間隔に近接する、またはその整数(2以上の自然数、以下同じ)倍または前記整数を分母とする分数倍のピッチでダウンサンプリングと輝度補間処理を行い前記変形前後の２段モアレ縞を求め、
さらに前記変形前後の２段モアレ縞から空間位相シフト法で得られる前記変形前後の２段モアレ縞の位相分布の差から前記高さ係数を用いて試料の三次元形状をまたは面内・面外変位・ひずみ分布を決定することを特徴とする２段モアレ縞を用いた三次元形状、変位・ひずみ分布測定方法。
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