適用製品
太陽電池の評価方法及び評価装置並びに太陽電池の評価用プログラム
目的
太陽電池の裏面側の特性を非破壊で評価することで、製造プロセスの最適化を実現し得る太陽電池の評価方法及び評価装置並びに太陽電池の評価用プログラムを提供する。
効果
本発明によれば、光励起キャリアライフタイム測定などが困難な、電極形成済みの太陽電池が故障した場合や設計した性能が得られない場合における太陽電池の裏面側の原因を非破壊で特定する評価を行うことができる。これにより、本発明によれば、製造プロセスの最適化を実現できる。
技術概要
波長及びスポットサイズをそれぞれ任意に可変可能な励起光を、移動可能な試料台に載置された太陽電池の受光面に照射し、前記太陽電池からの反射光及び前記励起光の各光電変換信号と前記太陽電池の出力信号とに基づいて、前記太陽電池の評価結果を得る太陽電池の評価方法であって、
少なくとも前記励起光のスポットサイズを、前記太陽電池の表面電極の電極幅の２倍以上で、かつ、前記太陽電池の基板厚さに極力近い値に制御する光制御ステップと、
前記光制御ステップによりスポットサイズが制御された前記励起光を、前記試料台に載置された前記太陽電池の受光面の複数の測定点のそれぞれに順次照射して得た、前記太陽電池の内部量子効率の空間分布に基づいて、前記太陽電池の前記受光面と反対側の裏面構造の評価を行う評価ステップと、
を含むことを特徴とする太陽電池の評価方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
