目的
湿度センサなどとして利用可能な新奇なカーボンナノ構造体の膜状物を提供する。新奇なカーボンナノ構造体の膜状物を製造することのできる膜状物の製造方法を提供する。
効果
本発明によって提供される酸化物ナノ粒子内包カーボン山型突状体配列膜状物は、センサなどヘルスケア用途や複雑形状をした構造体内部の狭小部位に配される湿度計などに用いることが出来、軽量小型で安価な有機基材上で利用可能であるため種々のデバイス中に利用することが可能である。
技術概要
酸化物ナノ粒子を内包する樹脂基材にパルスレーザーを照射することによって、底面径が400nm以上20μm以下の多数の山型突状体を有する膜状物であって、径が0.1nm以上100nm以下の酸化物ナノ粒子を内包するカーボンで構成され、前記山型突状体は、積層した厚さ50nm以下のカーボンナノシートを有するものであるカーボン山型突状体配列膜状物を得る。