目的
より高い分散安定性を与え得る凍結乾燥法による微細粒子の分散固定方法の提供。
効果
凍結乾燥法による微細粒子の分散固定方法において、より高い分散安定性を与え得る。これにより、懸濁液の滴下量を多くしても微細粒子の分散状態を維持できるとともに、基板に熱伝導率及び熱容量の比較的小さいシリコンウエハを使用し得る。
微細粒子と多価アルコールの相互作用から氷の形成及び昇華時に微細粒子の凝集体を形成させず、より高い分散安定性を与え得る。
微細粒子の分散密度を維持しつつ、微細粒子と多価アルコールの相互作用から、より高い分散安定性を与え得る。
技術概要
水に微細粒子を分散させた懸濁液を基板上に滴下し乾燥させ該微細粒子を分散固定する方法であって、
前記懸濁液を冷却基板上に滴下して薄膜を形成させつつ凍結させる凍結工程と、真空引きして乾燥させる乾燥工程と、を含み、前記懸濁液に多価アルコールを添加して蒸気圧を低下させて乾燥させることを特徴とする微細粒子の分散固定方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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