目的
計測対象物の静電気の帯電量分布を高空間分解能・広範囲でかつ素早く計測できる静電気分布計測装置を提供する。
効果
計測対象物を相対的に移動させながら、その表面の静電気量を、その瞬間に対向する位置にあるセンサで検出することができるので、計測対象物の表面の静電気量を高空間分解能・広範囲でかつ素早く計測することができる。
列状に配置された複数のセンサにより、計測対象物の表面の所定の範囲の電位の変化を一度に計測することができるので、より広範囲の計測対象物の表面の静電気の帯電量分布をより素早く計測することができる。
技術概要
帯電した計測対象物の表面に沿って相対的に移動して、前記計測対象物の表面との距離を変化させることにより生じる電位の変化を検出するセンサが表面に複数設けられた検出部と、
前記計測対象物の表面と前記検出部の表面との距離を測定する基準距離測定部と、
前記基準距離測定部により測定された距離が予め定められた基準距離になるように、前記計測対象物の表面と前記検出部の表面との距離を調整する距離調整部と、
所定の周期で前記計測対象物の表面と前記検出部の表面との距離を変化させる振動部と、
前記検出部が検出した電位の変化量、周波数および位相角の少なくとも１つを計測する計測部と、
前記検出部に対する前記計測対象物の相対的な移動距離と、前記計測部の計測結果に基づいて、前記測定対象物の表面の静電気量を算出する算出部と、
を具備することを特徴とする静電気分布計測装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
