目的
微小な有機物試料の形状を観察できる誘電率顕微鏡及びその観察方法を提供する。
効果
有機物試料を挿入することによる溶液中の誘電率の空間的な変化を、複数の印加側導電性薄膜及び計測側導電性薄膜の組み合わせによる誘電率変化計測対によって計測できるから、該有機物試料の形状を観察できる。
技術概要
溶液中の有機物試料を可視化するための誘電率顕微鏡であって、
前記溶液とともに前記有機物試料を挟み込むように対向配置された第１及び第２の絶縁性薄膜と、
前記第１の絶縁性薄膜の外向面側に規則的且つ互いに離間するように設けられた印加側導電性薄膜Ｐ↓1〜Ｐ↓n(但し、ｎ＞１の整数)と、
前記第２の絶縁性薄膜の外向面側に規則的且つ互いに離間するように設けられた計測側導電性薄膜ｐ↓1〜ｐ↓m(但し、ｍ＞１の整数)と、を含み、
前記印加側導電性薄膜Ｐ↓1〜Ｐ↓nのそれぞれに、互いに異なる周波数の電位変化を有する入力信号Ｓ↓（f1）〜Ｓ↓（fn）を与え、前記計測側導電性薄膜ｐ↓1〜ｐ↓mのそれぞれについて電位変化を測定しこれを前記周波数に対応させて分離して得られる前記第１及び第２の絶縁性薄膜間の誘電率分布から前記有機物試料を可視化することを特徴とする誘電率顕微鏡。
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