適用製品
モアレ法による高速かつ高精度で構造材料の二次元変位ひずみ分布を測定
目的
迅速かつ正確に構造材料の二次元の変位ひずみ分布を測定する方法、実用上では使用可能な試料格子ピッチの範囲を拡大できる手法。
モアレ法と、そのモアレ法を応用した、迅速かつ正確に構造材料の二次元変位ひずみ分布を実現するための新変形測定方法を提案。
効果
効果1:高速走査モアレ法と高速二次元走査モアレ法で、モアレ画像取得速度が高く、使用可能な試料格子ピッチの範囲が広い。
効果2:二次元走査モアレ法と高速二次元走査モアレ法で、二次元変形測定精度は高い。
効果3:開発したこれらの3つの走査モアレ法で、広視野での変位とひずみ分布を非破壊かつ定量的に測定することができる。
技術概要
縦横の走査点からなり基本走査線間隔T↓0の整数倍の間隔T(整数は1以上の自然数)に走査し得る走査線を有する走査型顕微鏡を備え、
試料台に載置されその表面に一方向にピッチp(pはT↓0に近接しているとする)の規則格子が生成された試料の表面を前記走査型顕微鏡の走査線により走査して前記試料表面のモアレ縞画像を取得し、
当該取得したモアレ縞画像の走査点の輝度情報から前記試料の変位ひずみ量を計算し、
前記計算した試料の変位ひずみ量を表示する、
走査モアレ方法による変位ひずみ分布測定システムであって、
前記走査型顕微鏡の走査点間隔Tを前記ピッチpの2以上の整数倍またはその近傍とし前記規則格子と前記走査点が小さな不一致またはずれが生じるようにしたことを特徴とする高速走査モアレ方法による高速変位ひずみ分布測定システム。