機能
材料・素材の製造
検査・検出
機械・部品の製造
適用製品
空間光変調器の光変調素子、およびこの光変調素子を用いた空間光変調器
目的
駆動電極に透明電極材料を適用する必要がなく、また画素の開口率を高くすることができ、さらに駆動電極を用いて磁化反転動作を検知することができる光変調素子を提供する。
効果
本発明に係る光変調素子によれば、空間光変調器の画素の開口率を高くしつつ、微細化することが容易となる。また、空間光変調器の画素に用いて、磁化反転動作のための電極を利用しての画素判定(書込みエラー検出)が可能となる。
本発明に係る空間光変調器によれば、高精細かつ省電力とすることができ、さらに高コントラストとすることができる。さらに、駆動用の配線を利用して、MRAMと同様の読出し動作を行うことができ、すべての画素のそれぞれについて書込みエラー検出が可能となる。
技術概要
基板上に、磁化自由層、中間層、および磁化固定層の順に積層したスピン注入磁化反転素子構造を備え、前記磁化自由層が積層された側から入射した光をその偏光の向きを変化させて反射して出射する光変調素子であって、
前記磁化固定層は、面方向に離間して、互いに反平行な方向の磁化に固定された第1磁化固定層と第2磁化固定層を、前記磁化自由層の上に有し、
前記中間層は、前記第1磁化固定層を積層された中間層と前記第2磁化固定層を積層された中間層とを分離して有して互いに抵抗が異なり、
前記第1磁化固定層と前記第2磁化固定層とに一対の電極を接続して電流を供給されることにより、前記磁化自由層の磁化方向が変化することを特徴とする光変調素子。