目的
中心軸方向のサイズを小型化したイオンポンプを含む超高真空作成装置を提供する。
効果
従来のイオンポンプの軽量性，効率性，及び排気性などの基本性能を維持しつつ，中心軸方向のサイズをさらに小型化したイオンポンプを含む，超高真空作成装置を提供することができる。
例えば，試料からのガス放出が大きいイオンビーム加工装置や，各種プロセス装置，電離ガス発生装置，イオン源生成装置などに好適に適用できる。また，本発明の超高真空作成装置は，例えば，より安定した超高真空環境が求められる放射光施設や，イオントラップ，原子時計などにも好適に適用できる。
技術概要
超高真空作成装置１は，少なくとも一つのイオンポンプ１００を備える。イオンポンプ１００は，少なくとも一つの開口１１１，１１２を有するケーシング１１０と，ケーシング１１０の内部に配置され所定の中心軸Ｃに沿って中心開口１２０ａが形成されているとともに複数の電極１２１が間隔を空けて連結することにより形成された盤状の電極群１２０と，ケーシング１１０の内部のうち電極群１２０を両側から挟む位置に配置され電極群１２０とは極性が異なる一対の盤状電極１３１，１３２と，一対の盤状電極１３１，１３２を両側から挟む位置に配置された一対の盤状磁石１４１，１４２と，を備える。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
