目的
毛管凝縮によるレジストの充填不良を防止するとともに、同一のモールドを用いても、パターン線幅や形状の調整を可能にすること。
効果
本発明によれば、飽和蒸気圧の低い凝縮性ガスと飽和蒸気圧の高い凝縮性ガスを混合することにより、毛管凝縮の影響を受けずに、凝縮反応が全域で起こり転写精度の高い低減することで良好なインプリントが実現することができる。
さらに、飽和蒸気圧の異なる混合した凝縮ガス雰囲気下を任意に制御することにより、ナノインプリントしたパターンの幅を任意に変更することが可能となり、１つのモールドを作製してしまえば、様々な線幅の転写パターンを作り出すことが可能となる。
技術概要
モールドに形成した凹部にレジスト層が侵入し、前記レジスト層で封止された前記凹部内部の温度、圧力で凝縮する凝縮性ガスの雰囲気中で、前記モールドに形成した凹部の転写を行うインプリント装置において、
前記凝縮性ガスとして、飽和蒸気圧の異なる複数の凝縮性ガスを一定の比率で供給する供給装置を備えたことを特徴とするインプリント装置。
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