適用製品
赤外光検出器、並びに、それを用いた赤外顕微鏡および赤外分光器
目的
1つの検出器で複数の波長の光を高感度で検知可能なCSIPを実現すること。
効果
それぞれの量子井戸のΔεに相当するエネルギー(波長)の光を、単一の検出器で、高感度で検知することが可能となる。
外部電子系から孤立領域に電子が流出し当該電子が孤立領域にたまっていた正電荷と結合することにより孤立領域の帯電量が速やかに0にリセットされて信号の飽和を解消することができ、複数の波長の光のうちの特定波長の光に起因する信号を区別することができる。
技術概要
単一の検知器でn色(nは2以上の整数)の光(波長:λ↓1、λ↓2、・・・λ↓n)を検知するために、基底サブバンド(ε↓0)と第1励起サブバンドのエネルギー準位(ε↓1)の差Δεが異なる上部量子井戸をn層重ねる。つまり、第1電子層を多重量子井戸層とする。n=2の場合、入射赤外光の入射面側の第1の量子井戸とその下方の第2の量子井戸を設け、第1の量子井戸の基底サブバンドと励起サブバンドのエネルギー準位の差Δε↑1と、第2の量子井戸の基底サブバンドと励起サブバンドのエネルギー準位の差Δε↑2を、Δε↑1>Δε↑2となるように設計する。このような構成とすることで、例えば、第1の量子井戸により9μmの波長の光が、第2の量子井戸により15μmの波長の光が検出され、1つの検出器で複数の波長の光が高感度で検知できる。