目的
BEOL内において内蔵されるセキュリティ機能を有する回路の存在(その位置及び機能)が特定されにくい識別/追跡可能な半導体デバイスを提供すること。
効果
本発明の半導体デバイスは、セキュリティ機能を持つデバイスとして、汎用的なIC(LSI)、各種のカスタムIC、例えば模倣品が出回りやすいゲーム用IC、不揮発性半導体メモリ等、基本的にあらゆる用途の半導体デバイスに利用することが可能である。
技術概要
フロントエンドと、複数の層を含むバックエンドとを備え、
前記バックエンドの前記複数の層中の配線ピッチが100nm以上である少なくとも一層にセキュリティ機能を有する回路を設けたことを特徴とする、半導体デバイス。