目的
太陽電池の発電効率を低下させることなくコストを低減し得るバスバー電極及びフィンガー電極を含む太陽電池の電極構造及びその形成方法の提供。
効果
保護膜14とバスバー電極12の明瞭な界面がなく保護膜14における剥離を抑制できて太陽電池としての耐久性を高めることが出来る。太陽電池の発電効率を低下させることなくバスバー電極12(12’)をAg系材料からCu系材料に変更してコストを低減し得るのである。
技術概要
PN接合を含む半導体基板5上に、ストライプ状であってAgを主成分とする材料からなる複数のフィンガー電極10及び無機物からなる反射防止膜9を与えるとともにこの上にフィンガー電極10からの電流を回収するCuを主成分とする材料からなるバスバー電極12を与えた太陽電池の電極構造である。フィンガー電極10及びバスバー電極12の間には電気的接触を与えつつフィンガー電極10へのCuの拡散を抑制する保護膜14を少なくとも与えられている。