目的
発電層表面に微細なボイドを高密度に有しかつその上に透明導電層を有するような太陽電池において、ボイドに起因する透明導電層の不均一性・不連続性を最小限にし、効率よく光生成電流を収集させ、光電変換効率を最大限に高めた太陽電池を提供できるようにする。
効果
厚膜の透明導電層を化学気相堆積法で作製した本発明に係る薄膜微結晶シリコン太陽電池では、最大電力密度を与える点において曲線因子が向上し、結果として光電変換効率が向上することが理解される。
本発明に係る薄膜太陽電池は、その発電層の表面に開口角度の小さいボイドを高密度に有していても、それらを透明導電層で充填させかつ透明導電層の連続性を確保することで光生成電流を効率よく収集でき、ひいては高い光電変換効率が期待できる。
技術概要
本発明に係る太陽電池には、発電層３に開口角度120度以下の逆さにした円錐あるいは角錐に準ずるボイド２が0.01個/mm↑2（1×10↑（10）個/㎡）以上の密度で存在し、その上に形成された透明導電層１はボイド２を充填し、かつこの透明導電層１が発電層３の表面にて連続な構造を有する。
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