目的
空洞の底部へのカーボンナノチューブの表面処理基板の設置を容易にしたカーボンナノチューブ標準黒体炉装置を提供する。
効果
基板の設置および交換の操作性が向上する。希ガス雰囲気を損なうことがなくＣＮＴの燃焼をより効果的に防ぐことができる。高温によるカーボンナノチューブの燃焼を防ぐことができ標準黒体炉装置としての性能の劣化を防ぐことができる。
技術概要
所定温度に温度制御される炉内に設けられた空洞と、該空洞の底部に配置されたカーボンナノチューブの表面処理をした基板を備えたカーボンナノチューブ標準黒体炉装置であって、前記空洞は空洞筒部と空洞底部が着脱自在に構成され、前記基板の配置を空洞底部側から行えるようにしたことを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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