適用製品
ダイヤモンドに不純物がドープされた、単結晶構造を有する不純物ドープダイヤモンド及びその製造方法
目的
単結晶構造を有している不純物ドープダイヤモンドを提供する。
効果
熱フィラメント法によって合成されており、単結晶構造を有する不純物ドープダイヤモンド及びその製造方法を提供することができる。
技術概要
ダイヤモンドに不純物がドープされた、不純物ドープダイヤモンドであって、不純物ドープダイヤモンドは、ホウ素及びリンの少なくとも一方を不純物として、その濃度が、１×１０18ｃｍ-3〜１×１０22ｃｍ-3であり、熱フィラメントＣＶＤ法により好適に高濃度不純物ドープダイヤモンドを長時間にわたり合成することができ、単結晶構造を有している。透過ＦＴ−ＩＲによって測定される有効アクセプタ密度と、二次イオン質量分析法で測定される不純物濃度との比によって算出されるホール活性化率（有効アクセプタ密度／不純物濃度）が、９５％以上である。
基本情報
開放特許情報
登録者情報
その他の情報
