適用製品
裏面照射型固体撮像素子及びそれを備えた撮像装置
目的
従来の素子の作製プロセスに特別なプロセスを追加することなく、端面で発生した電子が画素部に混入することによって生じるノイズを低減することができる裏面照射型固体撮像素子及びそれを備えた撮像装置を提供する。
効果
従来の素子の作製プロセスに特別なプロセスを追加することなく、端面で発生した電子が画素部に混入することによって生じるノイズを低減することができるという効果を有する裏面照射型固体撮像素子及びそれを備えた撮像装置を提供することができるものである。
技術概要
裏面照射型固体撮像素子100は、画素領域20、pウエル30、nガードリング40、pガードリング50、端面103〜106を有し、画素領域20から各端面103〜106に向かって、画素領域20を囲むように、pウエル30、nガードリング40及びpガードリング50が順次形成され、pウエル30にはpウエル端子31、nガードリング40にはnガードリング端子41、pガードリング50にはpガードリング端子51が、それぞれ設けられ、各端子に印加される電圧が、nガードリング端子電圧>pウエル端子電圧≧pガードリング端子電圧≧裏面端子電圧の関係を有する。