目的
研削装置等の加工装置の吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度が許容範囲であるか否かを容易に確認すること
効果
吸引保持パッドを基準位置に位置付けた状態においてチャックテーブルの保持面との間に第１の厚み確認部が挿入されるが第２の厚み確認部が挿入されないことを確認することにより、チャックテーブルの保持面と吸着パッドの吸着面の平行度が許容範囲であると判定することができる。
技術概要
搬送手段とを具備する加工装置における、吸引保持パッドの吸着面とチャックテーブルの保持面との平行度を確認する平行度確認治具あって、
面一の底面と、底面から上面までの厚みがチャックテーブルの保持面と吸引保持パッドの吸着面との基準間隔に設定された第１の厚み確認部と、
底面から上面までの厚みが第１の厚みより僅かに厚い第２の厚みを有する第２の厚み確認部とを具備することを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
)
)
登録者情報
その他の情報
