適用製品
カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置
目的
簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を得る。
効果
本発明によれば、簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
技術概要
少なくとも一部の表面が酸化ケイ素である平板状の基板と触媒とが載置された管内を排気するステップと、
前記管内を前記触媒が昇華する所定温度に調整するステップと、
前記所定温度に調整されて前記触媒が昇華した状態にある前記管内に炭化水素のガスを供給し、化学気相成長法により
前記基板上にカーボンナノチューブを垂直配向させるステップと、
を含むカーボンナノチューブの製造方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
