目的
ベンディング試験などの曲げによって電気抵抗が大きく変化しない点でフレキシブルと言える導電性膜を提供する。
厚さが500nm以下で、室温でのシート抵抗が300Ω／□以下となる導電性膜を提供する。
室温での電気抵抗に対する300℃までの温度での電気抵抗変化〔（25〜300℃の所定温度でのシート抵抗−25℃でのシート抵抗）／25℃でのシート抵抗〕が5％以下である導電性膜を提供する。
上記のようなフレキシブル導電性膜の製造方法を提供する。
効果
本発明のフレキシブル導電性膜は、可撓性の基材上に形成され、曲げを繰り返しても抵抗値があまり変化しないという点で「フレキシブル」と言えるものである。
本発明のフレキシブル導電性膜は、膜厚が500nm以下で、室温のシート抵抗を1KΩ/□以下や300Ω/□以下とすることができるし、また、金属酸化物材料を主成分とするため、高温環境下においても腐食や酸化による抵抗変化を防ぐことができるので、室温から300℃までの温度の抵抗変化を5％以下とすることもできる。
技術概要
基材上に金属有機化合物、金属、金属酸化物の少なくともいずれか一つを含む溶液又は分散液を基材に塗布し、該塗布膜を、基材が劣化しない温度での加熱工程と、紫外線、マイクロ波、又は、プラズマを照射する照射工程の少なくとも一方の工程によって処理してフレキシブル導電性膜に形成することを特徴とする。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
