適用製品
試料中の所定の元素を検出する測定方法及び装置
目的
試料中におけるリチウムを検出し、その分布を取得することができる測定方法、濃度分布の可視化方法、及び測定装置を提供する。
効果
試料中の測定対象の元素を容易に検出することができる。特に、オージェ電子分光法では検出が難しいリチウムを容易に検出することができる。
また、検出対象の元素の存在分布を容易に生成することができる。特に、リチウムの存在分布を容易に生成することができる。
薄片状の試料に限らず、バルク状の試料であっても、測定対象の元素を検出することができるので、試料の取扱いが容易である。
技術概要
測定方法は、照射装置１０２により、電子２００を収束して試料１２０の表面に照射する照射ステップと、試料により反射された電子２０２を、照射装置１０２が配置された側の立体角２πの範囲で、当該電子の運動エネルギーに応じて、検出装置１０４により検出する検出ステップと、運動エネルギーに応じた検出値から、電子のエネルギー損失スペクトルを生成するスペクトル生成ステップとを含み、スペクトル生成ステップにより生成されるエネルギー損失スペクトルは、電子エネルギー損失分光法によるリチウムの損失ピークが検出されるエネルギー範囲を含む。これにより、オージェ電子分光法では検出が難しいリチウムを容易に検出することができる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
