適用製品
積層キャパシター及び積層キャパシターの製造方法
目的
酸化物を誘電体層又は、誘電体層と電極層に適用した積層キャパシターの高性能化、及びそのような積層キャパシターの製造プロセスの簡素化と省エネルギー化を実現する。
効果
本発明の１つの積層キャパシターによれば、リーク電流を低く抑えるとともに平坦性が優れた誘電体層を有する、電極層と誘電体層とが交互に少なくとも２回積み重ねられた構造を一部に備える積層キャパシターが実現される。また、本発明の１つの積層キャパシターの製造方法によれば、比較的簡素な処理によって第１酸化物層及び第２酸化物層が形成されるため、工業性ないし量産性に優れた積層キャパシターの製造方法を提供することができる。
技術概要
電極層と誘電体層とが、それぞれ一層積み重ねられた構造を一部に備え、
前記誘電体層は、
ビスマス（Ｂｉ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物、又はビスマス（Ｂｉ）と亜鉛（Ｚｎ）とニオブ（Ｎｂ）とからなる酸化物（不可避不純物を含み得る）によって構成される、完全に結晶化をさせない第１酸化物層と、ランタン（Ｌａ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物、ランタン（Ｌａ）とジルコニウム（Ｚｒ）とからなる酸化物、及びストロンチウム（Ｓｒ）とタンタル（Ｔａ）とからなる酸化物の群から選択される１種の酸化物（不可避不純物を含み得る）によって構成される、完全に結晶化をさせない第２酸化物層との積層酸化物からなる、
積層キャパシター。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
