適用製品
グラフェンの製造方法、基板上に製造されたグラフェン、基板上グラフェン
目的
グラフェンの製造方法、基板上に製造されたグラフェン、ならびに、基板上グラフェンを提供する。
効果
本発明によれば、グラフェンの製造方法、基板上に製造されたグラフェン、ならびに、基板上グラフェンを提供することができる。
炭素の濃度分布を適切に設定することによって、グラフェンの結晶が成長を開始する位置ならびに成長する方向を制御することができる。
また、グラフェンの成長開始点を減らすことで極めて大きな結晶粒径を実現することができる。
技術概要
基板上にグラフェンを製造する製造方法等を提供する。ここで、形成工程では、金属に炭素が固溶した固溶体が形成可能な固溶温度への加熱を行って、当該固溶体からなる固溶体層（５０５）を基板（１０３）上に形成する。そして、除去工程では、固溶温度への加熱を維持したまま固溶体層（５０５）から金属を除去することにより、基板（１０３）上でグラフェン（１０２）を成長させる。炭素を固溶させる溶媒には単一の元素からなる金属のほか、各種の合金も利用可能である。エッチングガスを供給することによって固溶体層（５０５）から金属を除去すれば、グラフェン（１０２）は、基板（１０３）に接することとなる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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