適用製品
プラスチック等の基材上に塗布し、加熱することで酸化物膜が形成される酸化物前駆体材料
目的
大気中で調製、保存、およびプラスチック等に塗布・印刷が可能であり、高移動度の酸化物半導体が得られる酸化物前駆体材料を提供する。
効果
大気中で調製、保存、およびプラスチック等に塗布・印刷が可能であり、高移動度の酸化物半導体が形成できる酸化物前駆体材料が得られる。
本発明の酸化物前駆体材料は、近年発展著しい印刷エレクトロニクスの分野で有望な材料であることから、ディスプレイ、太陽電池、LED、センサ、セキュアデバイスなどの幅広い電子デバイスに利用できる。
技術概要
酸化物前駆体材料は、酸化物半導体を構成する金属の塩と、水と、フッ素を含有するアルコールとを有する。金属は、亜鉛、インジウム、およびガリウムから選択される一種以上である。金属の塩は金属硝酸塩である。フッ素を含有するアルコールは、沸点が60℃以上150℃以下であり、表面張力が25mN/cm以下である。このようなアルコールとして、2,2,2−トリフルオロエタノールが挙げられる。フッ素を含有するアルコールの容量は水の容量以上であることが好ましい。