適用製品
セラミックス部材とアルミニウム部材とを接合する方法
目的
簡便にセラミックス部材とアルミニウム部材を接合する方法を提供する。
効果
より簡便にセラミックス部材とアルミニウム部材を接合する方法を提供することができる。
本発明は、例えば、セラミックス接合技術、ヘテロ材料（金属−セラミックス）製造技術、およびセラミックス基板に対する配線技術等に利用することができる。
技術概要
セラミックス部材とアルミニウム部材とを接合する方法であって、
（ａ）アルミニウムおよび／またはケイ素を含有するセラミックス部材、およびアルミニウム部材を準備するステップと、（ｂ）前記セラミックス部材および前記アルミニウム部材の少なくとも一方に、接合材を設置するステップであって、前記接合材は、シロキサン系ポリマーまたは炭素粉末含有シリカゾルを含むステップと、（ｃ）前記セラミックス部材と前記アルミニウム部材を、前記接合材を介在させた状態で積層し、組立体を構成するステップと、（ｄ）前記組立体を、不活性ガス雰囲気下または真空雰囲気下において、４３０℃以上、６００℃未満の温度で加熱するステップとを有し、
前記（ｄ）のステップは、前記組立体の前記接合材に実質的に圧力が印加されない場合、１時間以上実施され、前記組立体の前記接合材に、０．１３ｇｆ／ｃｍ↑２（１２．７Ｐａ）以上の圧力が印加される場合、５分以上実施されることを特徴とする方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
