目的
リチウムイオン二次電池電極の電気化学オペランド軟Ｘ線吸収/発光分光の実現を可能とする、Si↓3N↓4薄膜を用いた薄膜電極を提供する。
効果
本発明により、リチウムイオン電池電極材料の電気化学オペランド軟Ｘ線吸収/発光分光が可能となった。電気化学オペランド測定という実環境下で、軟Ｘ線吸収/発光分光を用いることで、従来の電子状態解析よりもはるかに豊富かつ正確な情報を得ることが可能となった。このように、本発明によって、様々な電極材料のオペランド電子状態解析が可能となる。
技術概要
Siウェハ/Si↓3N↓4薄膜上に作成された、Al↓2O↓3/Ti/Auという三層構造を有する、電極活物質焼成後にも低抵抗を示す薄膜集電体。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
