適用製品
コア／シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その製造方法、湿度センサー及び歪みセンサー
目的
水分子を吸着しやすい表面を有し、また、水分子の吸着量が高く、水分子の吸着により、抵抗値を大きく変化させることが可能なコア／シェル構造金属酸化物マイクロベルト、その容易な製造方法、高感度の湿度センサー及び歪みセンサーを提供する。
効果
シェル部の表面積が大きいので水分子の吸着量を多くでき、水分子の吸着により抵抗値を大きく変化させることができる。
製造コストを低減できるとともに、製造するコア／シェル構造金属酸化物マイクロベルトの性能を安定化できる。
高感度の湿度センサー又は歪みセンサーを提供できる。
技術概要
平板状のコア部３１と、コア部３１を覆うように形成されたシェル部２１とからなる平板状の構造体であって、前記コア部が絶縁性又は抵抗率ρが１ｋΩｃｍ以上の高抵抗性の金属酸化物からなり、前記シェル部が酸化すず、酸化亜鉛又は酸化インジウムのいずれか一又は二以上の金属酸化物からなるコア／シェル構造金属酸化物マイクロベルト１１を用いることによって前記課題を解決できる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
