目的
ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造する。
効果
本発明により、99.999%以上の超高純度窒素ガスを、ガスボンベを使用せずに製造することができる。
高圧窒素ボンベを使用しないことにより、大幅にコストが縮減されるほかに、研究所・事業所等における安全管理へも貢献できる。
また、離島、遠隔地等ガスボンベの頻繁な運搬に適さない場所においても、超高純度窒素ガスの簡易な利用を可能とする。
技術概要
室内の空気をコンプレッサーにより５〜８気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第１の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第２の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第３の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第３の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第２の工程後で、第３の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
