機能
機械・部品の製造
材料・素材の製造
制御・ソフトウェア
適用製品
イオンビーム照射装置およびそれを用いた半導体デバイスの製造方法、イオン注入装置
目的
電界放出型電子源を用いて、イオンビームの空間電荷を効率良く中和して、空間電荷によるイオンビームの発散を効果的に抑制することができる装置を提供する。
効果
イオンビームの空間電荷を効率良く中和して、空間電荷によるイオンビームの発散を効果的に抑制することができる。その結果、イオンビームの輸送効率を向上させることができる。
電子によるターゲット表面の負帯電を抑制することができる。これは、電界放出型電子源から放出する電子のエネルギーがあまり低くない場合に特に大きな効果を発揮する。
また、同一の半導体基板上に特性の揃った複数の半導体デバイスを製造することができ、その結果、歩留まりが向上し、半導体デバイスの生産効率が向上する。
技術概要
このイオンビーム照射装置は、イオンビーム２の経路の近傍に設けられていて電子１２を放出する電界放出型電子源１０を備えている。電界放出型電子源１０は、それから放出するときの電子１２の、イオンビーム２の進行方向に平行な方向からの角度である入射角度が、−１５度から＋４５度（イオンビーム２の内向きが＋、外向きが−）の範囲内の角度を成す向きに配置されている。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
