目的
１段階プロセスで、結晶性の良好な窒化タンタル結晶層を効率よく得る方法を提供する。
効果
１段階プロセスで、結晶性の良好な窒化タンタル結晶層を効率よく得る方法を提供し得る。
技術概要
タンタル基板表面、または基板上のタンタル皮膜表面を親水化処理すること；フラックス水性溶液またはペーストを前記基板表面または皮膜表面に塗布すること；ならびに塗布された表面を含む基板を窒素源含有雰囲気中で加熱し、ついで冷却することにより基板上に窒化タンタル（Ta↓3N↓5)結晶層を形成することを特徴とする窒化タンタルの製造方法。
アピール内容
譲渡についての可・不可はその時の状況によります。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
