適用製品
半導体や金属等の固体、特に有機半導体の空準位の値を測定するのに有効な方法及び装置
目的
試料を損傷させることなく、かつ、高い分解能で半導体の他、金属や不導体を含む固体の空準位を測定する方法及び装置を提供する。
効果
固体試料、特に有機半導体試料の変質・損傷を抑制することができる。さらに、試料から放出される光が、従来の方法では真空紫外光（10−200 nm）であったのに対し、本発明に係る方法では電子線エネルギーを下げることで近紫外光又は可視光（180−700 nm）を検出することになり、合成石英などの光学材料や高効率のフォトマルを使うことが可能になった。また、検出光が酸素で吸収されることがほとんどないため、光検出を大気中で行うことができ、装置の構成が容易となった。これらにより、装置分解能が従来の2−3倍に向上した。
技術概要
a) 電子線を生成する工程と、
b) 生成された電子線の運動エネルギーを0−5 eVの範囲内で順次変化させ、固体試料に照射する工程と、
c) 前記固体試料から放出される電磁波のうち、180−700 nmの範囲内の所定波長の光の強度を測定する工程と、
d) 電子線の運動エネルギーに対する光強度により生成されるスペクトルより、前記固体試料の空準位エネルギーを決定する工程を備えることを特徴とする固体の空準位測定方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
