適用製品
セラミックス部材とアルミニウム部材とを接合する方法、および接合体
目的
簡便にセラミックス部材とアルミニウム部材を良好な強度で接合する方法の提供。
効果
より簡便にセラミックス部材とアルミニウム部材を接合する方法を提供することができ、セラミックス部材とアルミニウム部材とが良好な強度で接合された接合体を提供することが可能になるため、例えば、セラミックス接合技術、ヘテロ材料(金属−セラミックス)製造技術、およびセラミックス基板に対する配線技術等に利用することができる。
技術概要
セラミックス部材とアルミニウム部材とを接合する方法であって、
(a)アルミニウムおよび/またはケイ素を含有するセラミックス部材、およびアルミニウム部材を準備するステップと、
(b)前記セラミックス部材および前記アルミニウム部材の少なくとも一方に、接合材を設置するステップであって、前記接合材は、シロキサン系ポリマーまたは炭素粉末含有シリカゾルを含むステップと、
(c)前記セラミックス部材と前記アルミニウム部材を、前記接合材を介在させた状態で積層し、組立体を構成するステップと、
(d)前記組立体を、不活性ガス雰囲気下または真空雰囲気下、600℃〜1400℃の温度で加熱するステップと、
を有する方法。