目的
小型・軽量な質量流量計で、質量流量に加えて静圧の計測が可能な質量流量計を提供する。
効果
質量流量の計測に加えて、管路内の静圧の計測を可能とする。そのため、質量流量計とは別の圧力計を使用せずに、曲がり管の管路内の静圧を計測可能な質量流量計を実現することが出来、装置の小型が実現出来る。
また、静圧と流量の計測結果から、管路内抵抗を求めることが出来る。そのため、管路の詰まり具合や狭窄などの管路異常を検知することが出来る。
技術概要
内部を流体が流通する管路内の遠心力ないし向心力が作用する部分に遠心力ないし向心力検出用歪ゲージと、遠心力ないし向心力が作用しない部分に静圧・温度補償用の歪ゲージを貼り付け、その出力差から質量流量を計測する質量流量計において、計測された質量流量から流量による静圧変化を算出し、算出した流量による静圧変化と前記歪ゲージの出力を元に管路内の静圧を計測することを特徴とする。