適用製品
基材上に特定元素を含有する薄膜が設けられている薄膜試料の当該薄膜における特定元素の単位質量当たりの表面積を測定する方法及び装置
目的
基材上で薄膜になった状態の該薄膜が含有する特定元素の単位質量当たりの表面積を精度良く測定することができるようにする。
効果
本発明によれば、基材上で薄膜になった状態での特定元素の比表面積に関する情報を得ることができ、触媒、電池の電極等の表面における特定元素の化学的、物理的ないしは電気的な性能評価に有利になる。
技術概要
特定元素の吸収端前後のＸ線を基材上の薄膜に照射することによって、Ｘ線照射領域の上記特定元素の表面積Ｓに比例する電子収量Ｉｃと、Ｘ線照射領域内の上記特定元素の量Ｍに比例する蛍光Ｘ線収量Ｉｆとを求め、この電子収量Ｉｃと蛍光Ｘ線収量Ｉｆとに基いて、上記薄膜の上記特定元素に係る比表面積ＳＡを算出する。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
