適用製品
帯電微粒子サンプリング装置、帯電量分布測定装置
目的
微粒子の帯電状態を測定する測定装置に帯電微粒子を重力沈降で導入するサンプリング過程において帯電微粒子の帯電量が変化することを抑える帯電微粒子サンプリング装置およびこの帯電微粒子サンプリング装置を備えた帯電量分布測定装置を提供する。
効果
微粒子の帯電状態を測定する測定装置に帯電微粒子を重力沈降で導入するサンプリング過程において帯電微粒子の帯電量が変化しにくくなる。
技術概要
帯電状態が測定される帯電微粒子群を帯電状態測定装置の内部に導く帯電微粒子サンプリング装置であって、
前記帯電微粒子群を受け入れる第１の開口部を上側に有し、かつ、前記帯電微粒子群を排出する第２の開口部を下側に有する本体と、
第１の開口部から第２の開口部に向かって鉛直方向に沿って延びる前記帯電微粒子の流路を画定するガイド部材と、前記ガイド部材におけるガイド面近傍に電界カーテンを形成する電界カーテン形成部と、を備え、かつ、
前記電界カーテン形成部は、前記ガイド部材に形成された複数の電極群と、前記複数の電極群に交流電圧を印加する電圧印加部と、を備え、かつ、
前記帯電微粒子の流路の断面積が下方ほど狭くなるように、前記ガイド部材が配置され、かつ、
前記ガイド部材は、互いに対向し、かつ、互いの間隔が下方ほど狭くなるように配置された一対の板状部材を備え、かつ、
前記複数の電極群は、前記ガイド面から第２の開口部外側に張り出すように形成されることを特徴とする帯電微粒子サンプリング装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
