目的
細孔周期が200nm程度と比較的大きく、各細孔が規則的に配列した陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法を提供する。
効果
比較的大きな周期150nmから250nmの細孔が、目標とする大きさの領域にわたって規則的に配列されたポーラスアルミナを得ることができ、このような広い領域にわたって150nmから250nmの比較的大きな周期で規則的に配列された細孔を有するポーラスアルミナは、ナノインプリントをはじめとする機能性材料や、様々な機能性デバイス用材料としてとして幅広い分野に適用することができる。
技術概要
陽極酸化のみにより形成された細孔周期150nmから250nmの陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法あって、化成電圧70Vから130Vの範囲で地金アルミニウムを1M以上の濃度のシュウ酸を主成分とする電解液中で陽極酸化時の浴温を25℃以上として陽極酸化することで作製することを特徴とする陽極酸化ポーラスアルミナの製造方法。
基本情報
開放特許情報
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