目的
接合面の結晶学的性質が優れた単結晶ダイヤモンド基板を提供する。
効果
本発明の製造方法によると、得られた単結晶ダイヤモンド基板の接合領域の結晶学的性質が良好であるために、これを種基板として用い、更に大面積の単結晶ダイヤモンド基板を製造することが可能である。
また、得られた単結晶ダイヤモンド基板は接合領域であっても、比較的一様なモフォロジ―が得られるため、超難加工材料であるダイヤモンドの加工における負担を軽減することが可能である。
技術概要
下記の工程を含む単結晶ダイヤモンド基板の製造方法：
（１）同一の結晶学的性質を有する複数の単結晶ダイヤモンド種基板Ａ，Ｂであって、種基板Ａ，Ｂのオフ方向と種基板Ａ，Ｂの稜線のなす角が１７度より大きく、９０度未満となるように種基板Ａ，Ｂの主たる成長面の外周側面が整形加工された複数の種基板Ａ，Ｂを、支持台上に、互いの整形加工された種基板Ａ，Ｂの側面同士が接触し、種基板Ａ，Ｂの結晶面のオフ方向を一致させ、且つ種基板Ａ，Ｂの主たる成長面が露出する状態となるように載置する工程。（２）上記（１）工程で支持台上に載置された複数の種基板Ａ，Ｂの主たる成長面上に単結晶ダイヤモンドを成長させる工程。
基本情報
開放特許情報
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