目的
試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うこと、およびそのための試料保持装置を提供すること。
効果
本発明によれば、試料の表裏の面が接する環境を分離して、ビーム照射による測定を行うことができる。また、そのための試料保持装置が得られる。
技術概要
試料保持装置１は、試料９９を保持するホルダを備える。ホルダは、試料９９の表面に接するように形成される表側環境室１８と、試料９９の裏面に接するように形成される裏側環境室２８と、試料９９へビームを入射させるためのビーム入射口１６と、試料９９からビームを出射させるためのビーム出射口２６とを含む。
基本情報
開放特許情報
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