適用製品
静電気分布計測装置および静電気分布計測方法
目的
簡便な装置でありながら、高い空間分解能を基礎にして短時間で対象物の静電気分布を計測する静電気分布計測装置を提供する。
効果
静電気分布計測装置は、簡便な構成でありながら、一定の面積を有する部品や製品などの静電気分布を計測できる。更に、静電気分布計測装置は、計測した結果を、把握しやすいように可視化することもできる。
また、短時間で計測できるので、静電気分布の特性を正確に測ることができる。静電気は時間経過に伴って大きく変化するが、本発明を用いれば、計測時間中の変動による計測誤差が減少する。この結果、例えば製造現場の製造ラインを流れている部品や製品の静電気分布を、その場所でリアルタイムに計測できる。
技術概要
計測対象物の計測面における静電気分布を計測する静電気分布計測装置であって、振動によって前記計測面における複数領域のそれぞれで生じる電界を受信するアレイアンテナと、前記計測対象物もしくは前記アレイアンテナを振動させる振動手段と、前記アレイアンテナが受信した前記複数領域のそれぞれでの前記電界の強度、周波数および位相の少なくとも一つを計測する計測手段と、前記計測手段での計測結果に基づいて、前記複数領域のそれぞれでの静電気量を算出する算出手段と、前記複数領域のそれぞれでの静電気量に基づいて、前記計測面における静電気分布を描画する描画手段と、を備え、前記アレイアンテナは、前記複数領域のそれぞれに対応する複数のアンテナ素子を有する、静電気分布計測装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
